發展歷程
2024
2024年12月
Flora、Bianca設備進入量產線
芯片對晶圓鍵合設備出廠
芯片對晶圓鍵合設備出廠
2024年12月
全年出貨1000+個反應腔
2024年3月
拓荊正式啟用全新的Logo設計
2023
2023年12月
客戶端累計流片量突破1.5億片
認定為“國家企業技術中心”
首臺Thermal-ALD(TS-300Altair)設備通過客戶驗證
認定為“國家企業技術中心”
首臺Thermal-ALD(TS-300Altair)設備通過客戶驗證
2023年7月
新型串聯平臺搭配5個新型反應腔Supra-D出廠
2023年6月
上海二期研發與產業化基地正式開工建設
首臺晶圓對晶圓混合鍵合設備通過客戶驗證
首臺晶圓對晶圓混合鍵合設備通過客戶驗證
2023年5月
新型反應腔pX出廠
上海壹期研發與產業化基地正式啟用
上海壹期研發與產業化基地正式啟用
2023年3月
首臺 HDPCVD設備通過客戶驗證
2023年2月
新型平臺PF-300T Plus 出廠
2022
2022年12月
客戶端累計流片量突破9800萬片
2022年10月
首臺 PF-300T Altair Thermal-ALD 設備
2022年08月
首臺TS-300 Altair 集成工藝設備出廠
Hybrid Bonding 設備出廠
Hybrid Bonding 設備出廠
2022年04月
拓荊科技成功上市（688072.SH）
2021
2021年12月
全年設備出貨100臺
客戶端總流片量>4600萬片
完成HDP產品研發並進入客戶驗證
客戶端總流片量>4600萬片
完成HDP產品研發並進入客戶驗證
2020
2020年12月
UV Cure研制成功，並出貨到客戶端
客戶端總流片量超過1500萬片
客戶端總流片量超過1500萬片
2020年11月
整機累計出貨量超過100臺套
2020年09月
認定為“遼寧省企業技術中心”
2019
2019年12月
獲評國家知識產權示範企業
2019年12月
完成第四輪融資
2019年10月
獲批設立“遼寧省博士創新實踐基地”
2019年09月
SACVD研制成功並出廠到客戶端
2018
首臺硬掩膜 ACHM 機臺出廠到客戶端
2018年12月
12英寸ALD通過客戶端工藝驗證
2018年10月
2017
2017年12月
首臺量產型3D NAND PECVD 出廠到客戶端
2017年10月
PF-300T客戶端生產線量產流片突破壹百萬片
2017年8月
完成第三輪融資
2016
拓荊新廠投入使用
2016年12月
首臺12英寸ALD出廠到客戶端
2016年3月
2015
2015年9月
完成第二輪增資，獲國家集成電路產業投資基金戰略投資
2015年3月
PF-300T在客戶端生產線突破壹萬片
2014
獲批組建“遼寧省薄膜設備工程研究中心”
2014年12月
客戶端首臺量產機臺PF-300T的設備訂單
2014年8月
完成公司首輪增資
2014年5月
2013
PF-300T通過客戶端產品線測試
2013年12月
首臺12寸PF-300銷售
2013年5月
2012
推出12英寸多反應腔PF-300T設備
2012年12月
2011
首臺12英寸PECVD出廠到客戶端驗證
2011年10月
獲批建設遼寧省半導體薄膜技術裝備工程技術研究中心
2011年8月
2010
沈陽拓荊科技有限公司成立
2010年4月
