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產品介紹
產品介紹
PF-300T Flora 系列是拓荊自主研發的超高深寬比溝槽填充設備。該設備可實現對深寬比大於 8:1 的填充，是先進制程集成電路制造的重要設備之壹。該設備可以在晶圓表面沈積 SiO 等高品質的介電薄膜材料，經過 UV 或蒸汽固化及氧化等處理工藝後，可達到完全填充間隙而不會留下孔洞和縫隙的效果，目前已實現產業化應用。
- 可沈積高質量、高深寬比的SiO2薄膜
- 可依客戶選擇配置1-3路液態源，實現多種先進工藝
- 可與8英寸相互切換
- 可搭載1-3個PM
- 通過S2安全認證和F47標準檢驗
