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產品介紹
產品介紹
Crux 300 設備是拓荊科技自主研發鍵合精度量測設備，應用於混合鍵合領域，適配W2W和D2W鍵合精度量測場景，可實現混合鍵合後的套準精度量測，擁有高精度、高產能和無盲區量測三大特點。設備所有性能指標均已達到國內同類產品水平。
- 8英寸/12英寸晶圓適配
- 基於紅外光透射式或反射式量測技術
- W2W和D2W混合鍵合場景兼容
- 小於3nm的超高量測精度和穩定性
- 最大300mm範圍內無量測盲區
- 高吞吐量和低CoO
產品介紹
Crux 300 設備是拓荊科技自主研發鍵合精度量測設備，應用於混合鍵合領域，適配W2W和D2W鍵合精度量測場景，可實現混合鍵合後的套準精度量測，擁有高精度、高產能和無盲區量測三大特點。設備所有性能指標均已達到國內同類產品水平。
