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產品介紹
產品介紹
PF-300T Upsion系列是我公司自主研發的UV cure設備，UV反應腔搭載在高產能的PECVD平臺上，滿足了對設備產能的需求。UV cure主要應用於LoK II和HTN的處理，讓薄膜獲得更好的性能。
產品特點
- 優異的生產成本(CoO)及性能指標
- 可搭載1-3個PM
- 通過S2安全認證和F47標準檢驗
產品介紹
PF-300T Upsion系列是我公司自主研發的UV cure設備，UV反應腔搭載在高產能的PECVD平臺上，滿足了對設備產能的需求。UV cure主要應用於LoK II和HTN的處理，讓薄膜獲得更好的性能。
產品特點
- 優異的生產成本(CoO)及性能指標
- 可搭載1-3個PM
- 通過S2安全認證和F47標準檢驗
